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半导体用去离子水设备工作原理及处理过程

作者:北京中天恒远 发布于:2018-07-17 13:25:46浏览量:

  半导体用去离子水设备工作原理及处理过程,中天恒远编辑李德馨认真总结整理了相关的知识,下面为大家详细讲解一下,希望对您有所启发。

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半导体用去离子水设备工作原理及处理过程

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  半导体用去离子水设备工作原理及处理过程,小编听取根据技术人员的介绍,认真整理总结了一下,为您详细介绍

  一,半导体用去离子水设备工作原理

  种:一般通过阳阴离子交换树脂取得的去离子水,出水电导率可降到10us/cm以下,再经过混床就可以达到1us/cm以下了。但是这种方法做出来的水成本极高,而且颗粒杂质太多,达不到理想的要求。目前已较少采用了。

  第二种:预处理(即砂碳过滤器+精密过滤器)+反渗透+混床工艺这种方法是目前采用比较多的,因为反渗透投资成本也不算高,可以去除90%已上的水中离子,剩下的离子再通过混床交换除去,这样可使出水电导率:0.06左右。这样是目前比较流行的方法。

  第三种:前处理与第二种方法一样使用反渗透,只是后面使用的混床采用EDI连续除盐膜块代替,这样就不用酸碱再生树脂,而是用电再生。这就彻底使整个过程无污染了,经过去离子水设备处理后的水质可达到15M以上。但这这种方法的前期投资比较多,运行成本低。

  二,半导体用去离子水设备处理过程

  先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质,然后高压通过反渗透膜,分离出溶剂与溶液。比较后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物。假如此时电阻率还没有达到要求的话,可以再进行一次离子交换过程,比较高电阻率可达到18兆。半导体行业中用的大多数是高纯度的去离子水。

  半导体用去离子水设备工作原理及处理过程就介绍到这里了,如果想了解更多相关的知识,请关注我们的官网。

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