自来水中TOC水平大约为 4000ppb. 通过反渗透能去除 90-95% 的污染物。也就是说反渗透水的TOC水平一般可达到200-400ppb. 连续电去离子(EDI)可以进一步把超纯水处理设备的TOC 水平降到30-50ppb.
超纯水处理设备用特殊的离子交换树脂去除有机污染物，使TOC水平下降到5-10ppb. 然而，像LC-MS方面的应用要求更低的TOC水平，因而需要使用另一种水纯化技术——UV光氧化技术。在QYYJ与QYZH型超纯水器中增加的是254/185nm的双波长紫外灯，具有杀菌功能，可以氧化有机物，从而降低有机物的含量。
UV灯密封在管内的低压汞在电流作用下激发出发射相关波长所需的能量。主要发射波长254nm,185nm，还有少量的194nm。该紫外灯使用特殊的超纯石英，具有高度反光性能的不锈钢外壳和为外灯正常使用而设计的高性能镇流器。
普通的玻璃能吸收所有的紫外波长，也就是没有任何波长的UV能够通过。使用超纯石英罩的低压汞蒸汽灯能让光线穿透到水中。254nm能够在水中很好地传播因为水不吸收这个波长，但是水吸收185波长的UV光。另外，如颗粒，有机物(腐殖酸)会拦阻或吸收UV光。因此，UV技术可以用于水的清洁和预处理超纯水处理设备。
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