为了使去离子水RO装置能够安全可靠地运行，便于运行过程中的自动化运行及监控，需要在不同的过程节点安装相应的仪器仪表，一般需要装设的表计有温度表、压力表、流量表、pH表、电导率表、氯表、氧化还原电位表等，去离子水处理设备反渗透工艺中常用仪表的介绍如下：
(1)温度表
检测给水温度表并反馈给主机PLC系统，因产水量与温度有关，所以需要监测以便求出“标准化”后的产水量。大型设备应进行记录，另外，温度超过45℃会损坏膜元件，所以对去离子水处理设备中的原水加热器系统应设超限报警、超温水自动排放和停运RO的保护。
(2)压力表
给水压力表、段RO出水压力表、排水压力表用于计算每一段的压降(也可装设压差表)并用于对产水量和盐透过率进行“标准化”。盐透过率、产水量和△P压差用于RO性能问题的分析。
给水泵进出口压力表用于监测去离子水处理设备中的给水泵进出口压力，进出口压力开关用于在进口压力低报警、停泵，出口压力高(延时，以防慢开门未打开)报警、停泵。
3)氧化还原电位表
经加亚硫酸氢钠消除余氯的给水应装设氧化还原电位表，应有指示、记录、超限报警。
(4)液位表
检测原水箱、中间水箱及纯水箱的液位状况，并与系统PLC兼容，自动启停去离子水处理设备的运行。
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