电子级超纯水处理设备水质标准及设计原则

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　　一，电子级超纯水处理设备水质标准

　　中天恒远电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

　　二，电子级超纯水处理设备设计原则

　　1，工程以投资省，运转费用低，占地面积小为原则。

　　2，处理系统先进，设备运行稳定可靠，维护简单、操作方便。

　　3，污水处理系统不产生二次污染源污染环境。

　　4，控制管理按处理工艺过程要求尽量考虑自控，降低运行操作的劳动强度。

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